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直排四探針法
《硅單晶電阻率的測(cè)定 直排四探針法和直流兩探針法》意見征求(2020-04-02)
硅單晶是典型的元素半導(dǎo)體材料，具有優(yōu)良的熱性能與機(jī)械性能，是目前最重要、用途廣泛的半導(dǎo)體材料。一般而言，硅單晶的電阻率是最直接、最重要的參數(shù)，直接反映出了晶體的純度和導(dǎo)電能力，在器件設(shè)計(jì)時(shí)…[詳情]
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