電子工業用氣體氬技術指標 GB/T 16945-1997
作者： 2018年02月05日 來源：全球化工設備網 瀏覽量：
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項目指標氬純度，10-2，≥99.9992氫含量，10-6，≤1氮含量，10-6，≤5氧含量，10-6，≤0.5一氧化碳和二氧化碳含量，10-6，≤0.5總烴（以甲烷計）含量，10-6，≤0.5水分含量，10-6，≤0.5顆粒供需雙方商定試驗方法：1
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項目 |
指標 |
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氬純度，10-2，≥ |
99.9992 |
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氫含量，10-6，≤ |
1 |
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氮含量，10-6，≤ |
5 |
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氧含量，10-6，≤ |
0.5 |
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一氧化碳和二氧化碳含量，10-6，≤ |
0.5 |
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總烴（以甲烷計）含量，10-6，≤ |
0.5 |
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水分含量，10-6，≤ |
0.5 |
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顆粒 |
供需雙方商定 |
試驗方法：
1 氫和氮含量的測定：
1.1 方法：采用配備氦離子化檢測器的氣相色譜儀測定氬中的氫和氮。
1.2 檢測限：氫0.1×10-6(V/V)；氮0.5×10-6(V/V)
1.3 儀器參數
1.3.1 色譜柱：將色譜分析用粒度為0.25～0.40mm的5A分子篩裝入內徑4mm，長約3m的不銹鋼管內，于300℃通氬氣活化3h。或采用等效色譜柱。
1.3.2 載氣：約30mL/min氦氣，氦氣中雜質含量比待測組分含量低一個數量級。
1.3.3 樣品體積：1.0～3.0mL。
1.3.4 溫度：檢測器及柱加熱箱均為室溫。
1.3.5 標樣：含1～5×10-6(V/V)氫的氬，含5～25×10-6(V/V)氮的氬。
1.4 操作步驟
1.4.1 用氣體進樣閥進標樣。
1.4.2 用同樣方法進待測樣品。
1.4.3 重復上述兩條，取兩次平行測定結果的算術平均值為測定結果，單個值與平均值的相對偏差不得大于10%。
1.4.4 比較標樣峰和試樣峰的平均面積，用下式分別計算氫和氮的含量，其結果不得超過本標準的上表規定值。
φi=(φs-Ai)/As
式中：φi－－樣品氣中的待測組分i的含量，10-6(V/V)；
φs－－標準氣中的組分i的含量，10-6(V/V)；
Ai－－樣品氣組分i的峰面積，mm2(V/V)；
As－－標樣氣組分i的峰面積，mm2(V/V)；
當半峰寬不變時可用峰高定量。
1.1 方法：采用配備氦離子化檢測器的氣相色譜儀測定氬中的氫和氮。
1.2 檢測限：氫0.1×10-6(V/V)；氮0.5×10-6(V/V)
1.3 儀器參數
1.3.1 色譜柱：將色譜分析用粒度為0.25～0.40mm的5A分子篩裝入內徑4mm，長約3m的不銹鋼管內，于300℃通氬氣活化3h。或采用等效色譜柱。
1.3.2 載氣：約30mL/min氦氣，氦氣中雜質含量比待測組分含量低一個數量級。
1.3.3 樣品體積：1.0～3.0mL。
1.3.4 溫度：檢測器及柱加熱箱均為室溫。
1.3.5 標樣：含1～5×10-6(V/V)氫的氬，含5～25×10-6(V/V)氮的氬。
1.4 操作步驟
1.4.1 用氣體進樣閥進標樣。
1.4.2 用同樣方法進待測樣品。
1.4.3 重復上述兩條，取兩次平行測定結果的算術平均值為測定結果，單個值與平均值的相對偏差不得大于10%。
1.4.4 比較標樣峰和試樣峰的平均面積，用下式分別計算氫和氮的含量，其結果不得超過本標準的上表規定值。
φi=(φs-Ai)/As
式中：φi－－樣品氣中的待測組分i的含量，10-6(V/V)；
φs－－標準氣中的組分i的含量，10-6(V/V)；
Ai－－樣品氣組分i的峰面積，mm2(V/V)；
As－－標樣氣組分i的峰面積，mm2(V/V)；
當半峰寬不變時可用峰高定量。
2 氧含量的測定
按GB/T6285執行。
儀器檢測限：0.1×10-6(V/V)。
標樣：氬中含氧1×10-6～5×10-6(V/V)。
按GB/T6285執行。
儀器檢測限：0.1×10-6(V/V)。
標樣：氬中含氧1×10-6～5×10-6(V/V)。
3 一氧化碳和二氧化碳含量的測定
按GB/T8984.1執行。
儀器檢測限：0.1×10-6(V/V)。
標樣：氬中含一氧化碳、二氧化碳1×10-6～2×10-6(V/V)?！ ?/FONT>
按GB/T8984.1執行。
儀器檢測限：0.1×10-6(V/V)。
標樣：氬中含一氧化碳、二氧化碳1×10-6～2×10-6(V/V)?！ ?/FONT>
4 總烴（以甲烷計）含量的測定
按GB/T8984.3執行。
儀器檢測限：0.1×10-6(V/V)。
標樣：氬中含甲烷1×10-6～2×10-6(V/V)。
按GB/T8984.3執行。
儀器檢測限：0.1×10-6(V/V)。
標樣：氬中含甲烷1×10-6～2×10-6(V/V)。
5 水分含量的測定
按GB/T5832.1或GB/T5832.2執行，兩種方法具有同等效力。
儀器檢測限：0.2×10-6(V/V)，經相應檢定規程檢定合格。
按GB/T5832.1或GB/T5832.2執行，兩種方法具有同等效力。
儀器檢測限：0.2×10-6(V/V)，經相應檢定規程檢定合格。
（源自：中國流體機械網）
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