組合電器中的缺陷可能是在設備加工、組裝、運輸過程中產生的，或在現場安裝過程中由于工藝不良產生的，還有可能是在正常運行中由于設備絕緣老化或水分進入或由于特殊運行方式及操作(例如快速接地開關或斷路器的操作產生的顆粒)產生的。

SF6絕緣電氣設備內可能存在的缺陷為：自由顆粒、導體上的毛刺、懸浮屏蔽、盆式絕緣子上的顆粒、絕緣子內部缺陷、內部器件的松動，見下圖。

1、接地或帶電部分上的凸起

帶電部分或接地部分上的凸起將使電場畸變，這種缺陷對于雷電沖擊或隔離開關操作產生的極快波前瞬態電壓由于高壓持續時間段，不能形成空間電荷，所以影響雷電沖擊電壓值。但是對于交流耐壓，由于交流電壓變化緩慢，頂部的電暈有時間形成空間電荷使頂端受到屏蔽，因此在交流耐壓試驗中很難發現這種缺陷。試驗表明，相導體上超過1-2mm的凸起是影響安全運行的。接地體上的電場強度較低，對安全運行影響不大。

2、自由移動或固定顆粒

自由移動顆粒其尺寸越長，而且越靠近高壓導體，隱患越嚴重，如果自由移動顆粒在支持絕緣子表面，將會使絕緣子表面逐漸裂化，甚至引起閃絡，對設備安全運行構成嚴重威脅。同時，自由移動顆粒的位置、形狀和大小還決定了交流耐壓水平降低的程度，但是自由移動顆粒對雷電沖擊電壓值影響較小。

3、絕緣子中的氣泡和缺陷

絕緣子內部的氣隙、雜質或裂化會使放電電壓逐漸上升、產生電樹枝并最終導致擊穿。然而，由于絕緣材料中的衰減，超聲波局部放電檢測儀器對這種缺陷靈敏度較低。

4、電氣懸浮/機械松動的屏蔽

組合電器中存在的機械松動，很有可能形成懸浮電位。如果松動正好在帶電的導體上，就會產生很大的放電量。機械松動將產生大的聲信號，便于用超聲波法進行檢測。