微型真空泵是薄膜泵的一種，它的特點(diǎn)是效率高；運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與輸送介質(zhì)完全隔離、對(duì)介質(zhì)無污染；非動(dòng)密封，無泄漏；可靠性好；體積小、重量輕；具有自吸能力；不怕空轉(zhuǎn)；無需潤滑保養(yǎng)；自身噪音低。薄膜泵作為微型真空水泵使用時(shí)，無需灌泵，既能抽氣又能抽水，無水時(shí)不怕干轉(zhuǎn)。薄膜泵的優(yōu)點(diǎn)尤其是無污染性、自吸性使它在儀器儀表行業(yè)得到了廣泛運(yùn)用。市場上質(zhì)量優(yōu)異的微型真空泵以外國名牌KNF、GAST、THOMAS等和國產(chǎn)“氣海”泵為代表。

    在使用中微型真空泵的噪聲主要來自流體噪聲和電機(jī)噪聲。微型真空泵大量運(yùn)用于實(shí)驗(yàn)、檢驗(yàn)和醫(yī)療衛(wèi)生場所，這些場所對(duì)噪聲控制的要求較嚴(yán)格，除選用性能優(yōu)良的泵外還可以合理使用消聲器。氣體管路系統(tǒng)的消聲器是通過阻尼或增加排氣面積來降低排氣速度并消耗能量以降低噪聲。常見的消聲器有阻性、抗性、阻抗復(fù)合型等。工業(yè)真空泵排氣系統(tǒng)的氣流通道截面常具有多次突變的特點(diǎn)，一般采用復(fù)合型消聲器，殼體、隔板、微穿孔結(jié)構(gòu)采用不銹鋼薄板制成。微型真空泵常采用吸收型或膨脹干涉型消聲器。技術(shù)先進(jìn)的微型泵生產(chǎn)商為泵配置了專門的消聲器。

    根據(jù)聲學(xué)原理，當(dāng)氣流通過節(jié)流口時(shí)，如果上游壓力P1、溫度T1恒定，下游壓力為P2，P2/P1小于聲速流臨界壓力比b時(shí)，會(huì)出現(xiàn)聲速流，P2/P1 > b時(shí)，會(huì)出現(xiàn)亞聲速流。當(dāng)下游壓力P2、溫度T2恒定時(shí)，P1/P2 > 1/b時(shí)會(huì)出現(xiàn)聲速流，并且流量和流速會(huì)線性地隨上游壓力增大而增大。把微型真空泵作為氣泵給下游打氣時(shí)，微型真空泵出口的壓力保持恒定，下游閥門、容器等流道的壓力雖有波動(dòng)，但一般不大可能降低到出現(xiàn)聲速流量。微型真空泵的出口向大氣排氣時(shí)，下游壓力P2恒定為0.1MPa，可能出現(xiàn)聲速或接近聲速的流態(tài)，氣體急劇膨脹與壓力劇變，產(chǎn)生較大的噪聲。排氣噪聲與壓力、流量和流道截面積等因素有關(guān)。消聲器的選用主要根據(jù)噪聲頻率范圍、氣流速度，對(duì)一般系統(tǒng)氣流速度可取6～10m/s，高壓排氣則可大于20m/s。消聲器的效果按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，公稱通徑6～25mm時(shí)不小于20dB（A），公稱通徑32～50mm時(shí)不小于25dB（A）。通常在排氣口設(shè)置消聲器。

成都“氣海”機(jī)電公司研發(fā)了最先進(jìn)的長壽命可調(diào)速微型泵，有調(diào)速真空泵、調(diào)速氣泵、調(diào)速水泵諸多型號(hào)。可調(diào)速微型泵采用了先進(jìn)的進(jìn)口無刷電機(jī)，不僅具有壽命長、無雜波干擾、能利用PWM（脈寬調(diào)制）線方便可靠調(diào)節(jié)流量、能輸出轉(zhuǎn)速反饋信號(hào)等優(yōu)點(diǎn)，而且電機(jī)噪聲顯著低于原有電機(jī)。通過PWM降低電機(jī)轉(zhuǎn)速后可以取得非常理想的降噪效果。而且“氣海”公司還設(shè)計(jì)了微型泵專用消聲器，運(yùn)用先進(jìn)的多重消聲原理，壓力損失小，降噪效果好。在泵的進(jìn)、出口都安裝專用消聲器則效果更佳。

SLS-2012-05