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光刻機
熱點快評：重大突破！我國拿到光刻機“入場券”(2020-11-16)
今年以來，美國連續(xù)發(fā)布的幾項禁令，讓我國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展舉步維艱。禁令對于芯片技術(shù)和供應(yīng)鏈的切斷，讓國內(nèi)基本喪失了在高端芯片領(lǐng)域發(fā)展的能力。但這樣的局面并不會一直持續(xù)下去，11月14日，據(jù)央…[詳情]
國產(chǎn)超級光刻機火熱刷屏 核心技術(shù)突破刻不容緩(2018-12-05)
【中國儀表網(wǎng)儀表產(chǎn)業(yè)】近日，一篇名為《我國研制世界首臺分辨力最高紫外超分辨光刻裝備》的新聞報道在各大媒體瞬時刷屏，尤其是席卷了半導(dǎo)體領(lǐng)域，在相關(guān)業(yè)內(nèi)人士的朋友圈、微博受到大量轉(zhuǎn)載。但該火熱…[詳情]
面對壟斷，自主研發(fā)光刻機實現(xiàn)國產(chǎn)化替代勢在必行(2017-08-14)
光刻機作為芯片生產(chǎn)中最核心的設(shè)備，是大陸芯片生產(chǎn)設(shè)備制造的最大短板。不少人會將光刻機和刻蝕機搞混，其實，光刻機的工作原理是用光將電路結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上，而刻蝕機是按光刻…[詳情]
光電所研制出實用深紫外光刻機(2017-07-31)
近日，中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團隊研制成功波長254nm的實用深紫外光刻機（Maskaligner），光刻分辨力達到500nm。 Maskaligner因使用方便、效率高、成本低，一直是使用面最廣、使用…[詳情]
光電所成功研制出實用深紫外光刻機(2017-07-28)
近日，中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團隊研制成功波長254nm的實用深紫外光刻機(Maskaligner)，光刻分辨力達到500nm。 (a)設(shè)備外觀圖；(b)設(shè)備輸出光譜實測曲線 Maskaligner因使用方…[詳情]
光電所自主研制成功紫外納米壓印光刻機(2016-04-06)
近日，中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團隊在微納制作設(shè)備領(lǐng)域再次發(fā)力，自主研制成功紫外納米壓印光刻機，其成本僅為國外同類設(shè)備的三分之一，推進我國微納實用制造水平邁上新的臺階。…[詳情]