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國產(chǎn)超級(jí)光刻機(jī)火熱刷屏核心技術(shù)突破刻不容緩

作者： 2018年12月05日來源：中國儀表網(wǎng) 瀏覽量：

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【中國儀表網(wǎng)儀表產(chǎn)業(yè)】近日，一篇名為《我國研制世界首臺(tái)分辨力最高紫外超分辨光刻裝備》的新聞報(bào)道在各大媒體瞬時(shí)刷屏，尤其是席卷了半導(dǎo)體領(lǐng)域，在相關(guān)業(yè)內(nèi)人士的朋友圈、微博受到大量轉(zhuǎn)載。但該火熱現(xiàn)象背后，引

　　【中國儀表網(wǎng) 儀表產(chǎn)業(yè)】近日，一篇名為《我國研制世界首臺(tái)分辨力最高紫外超分辨光刻裝備》的新聞報(bào)道在各大媒體瞬時(shí)刷屏，尤其是席卷了半導(dǎo)體領(lǐng)域，在相關(guān)業(yè)內(nèi)人士的朋友圈、微博受到大量轉(zhuǎn)載。但該火熱現(xiàn)象背后，引發(fā)了業(yè)內(nèi)專業(yè)人士的多方質(zhì)疑。

　　眾所周知，光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備，我國在該領(lǐng)域長期落后，技術(shù)薄弱，話語權(quán)較低。而ASML光刻機(jī)以193納米波長光源，實(shí)現(xiàn)了達(dá)到7納米級(jí)的芯片蝕刻，其售價(jià)也達(dá)到近億美元。居高的產(chǎn)品成本和產(chǎn)品稀缺讓很多國家一度望而止步，一籌莫展。在高科技競(jìng)爭嚴(yán)峻的當(dāng)前，唯有提高自主創(chuàng)新技術(shù)能力，停止“拿來主義”，才能為半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展提供新出路，為科技大國建設(shè)提供源源不斷的新活力。

　　發(fā)展核心高科技產(chǎn)業(yè)，需要持之以恒的投入，這貫穿在科學(xué)事業(yè)革新的每個(gè)階段。微納光學(xué)制造技術(shù)作為現(xiàn)代先進(jìn)制造的重要方向，其水平高低也是體現(xiàn)一個(gè)國家綜合實(shí)力的標(biāo)志之一。如何研制出面向微納光學(xué)結(jié)構(gòu)制造的光刻裝備是相關(guān)科研工作者不懈的追求。

　　打破多年技術(shù)壁壘，11月29日，國家重大科研裝備研制項(xiàng)目“超分辨光刻裝備研制”通過驗(yàn)收，該裝備用365nm波長的紫外光單次成像實(shí)現(xiàn)了22nm的分辨率，為光學(xué)超材料/超表面、第三代光學(xué)器件、傳感芯片等納米光學(xué)加工提供了全新的解決途徑。該事件一經(jīng)報(bào)道，讓業(yè)內(nèi)沸騰不已，業(yè)內(nèi)相關(guān)企業(yè)借勢(shì)宣傳，蠢蠢欲動(dòng)。

　　國產(chǎn)光刻機(jī)是“真牛”還是“吹牛”？專家對(duì)此爭議不斷。一些媒體更是夸大報(bào)道，《國產(chǎn)光刻機(jī)偉大突破，國產(chǎn)芯片白菜化在即》《突破荷蘭技術(shù)封鎖，彎道超車》《厲害了我的國，新式光刻機(jī)將打破“芯片荒”》等謠言肆意傳播，這同樣被一些外行人斷章取義，認(rèn)為半導(dǎo)體芯片大步發(fā)展，實(shí)現(xiàn)國際領(lǐng)先。

　　在此過程中，不少業(yè)內(nèi)人士或一些專業(yè)媒體從業(yè)者經(jīng)過專業(yè)判斷與求證，狠狠打擊了不實(shí)報(bào)道。據(jù)悉，等離子體(surface plasmon,SP)光刻機(jī)屬于接觸式光刻，適用于光纖領(lǐng)域、5G天線等特殊應(yīng)用，或者是用于科研領(lǐng)域的單光子探測(cè)器。這對(duì)于實(shí)驗(yàn)室科研、軍工等領(lǐng)域意義突出，可以一定程度上替代現(xiàn)在的e beam光刻。

　　但肯定科研成果并不意味著可脫離實(shí)際應(yīng)用影響。在項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)上，專家也明確表示用于芯片需要攻克一系列技術(shù)難題，距離還很遙遠(yuǎn)。中科院研制的光刻機(jī)該裝備還不具備用于產(chǎn)線上微電子芯片的制造能力，不能代替微電子芯片的制造。

　　經(jīng)過相關(guān)資料和專利查詢，世界上SP光刻機(jī)的研究機(jī)構(gòu)極少，主流的光刻機(jī)生產(chǎn)商都未投入相關(guān)的研究。主要原因被認(rèn)為是無法應(yīng)用于商用芯片的制造，該技術(shù)存在應(yīng)用缺陷。當(dāng)然，這并不是說否定科研成果，需要注意的是，在光刻機(jī)領(lǐng)域，還需要很長時(shí)間的研究投入和持續(xù)探索。

　　隨著人工智能的技術(shù)發(fā)展，以及物聯(lián)網(wǎng)、節(jié)能環(huán)保、新能源等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)推動(dòng)，半導(dǎo)體的市場(chǎng)需求將持續(xù)增加。前瞻網(wǎng)數(shù)據(jù)顯示，2018年中國半導(dǎo)體設(shè)備銷售額預(yù)計(jì)達(dá)到118.1億美元?？v觀我國半導(dǎo)體市場(chǎng)，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率為20%，國內(nèi)市場(chǎng)被國外巨頭壟斷。這一市場(chǎng)現(xiàn)狀正同樣倒逼著相關(guān)技術(shù)的迫切研發(fā)。

　　說到底，在光刻機(jī)研制方面，科學(xué)家正歷經(jīng)漫漫長路。唯成果論本就不是科學(xué)正確的態(tài)度。對(duì)待科技的每一次突破，社會(huì)各界都應(yīng)理性對(duì)待，戒驕戒躁，既不夸大其詞，也不妄自菲薄，還科研創(chuàng)新一個(gè)健康、公正、積極的利好環(huán)境。

　?。ㄔ臉?biāo)題：國產(chǎn)超級(jí)光刻機(jī)火熱刷屏核心技術(shù)突破刻不容緩）

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