中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子裝備總體研究室微光學(xué)組在大角度衍射光學(xué)元件批量化制備方法研究中取得新進(jìn)展：提出了一種基于納米壓印技術(shù)的大角度衍射光學(xué)元件批量化低成本制備新方法。由于納米壓印模板可以多次重復(fù)使用，平均成本降低，能夠?qū)崿F(xiàn)從微米到納米跨尺度兼容的衍射光學(xué)元件的低成本、批量化制備。相關(guān)結(jié)果發(fā)表于近期的Acta Photonica Sinica。

　　衍射光學(xué)元件由于體積小、設(shè)計(jì)靈活、衍射效率高等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于光學(xué)傳感、光通訊、光計(jì)算、醫(yī)學(xué)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和消費(fèi)娛樂(lè)等領(lǐng)域。目前在一些前沿性的研究領(lǐng)域，如激光雷達(dá)中的廣角三維地形地貌探測(cè)、三維測(cè)量等，迫切需要具有大角度（大于50°）的衍射光學(xué)元件。現(xiàn)有的加工衍射光學(xué)元件的技術(shù)有很多種，但成本高、加工周期長(zhǎng)，難以實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)。因此，研究衍射光學(xué)元件的低成本、批量化制備方法具有重要意義。

　　該研究將納米壓印技術(shù)應(yīng)用于衍射元件的加工當(dāng)中，壓印母板在無(wú)損傷的前提下可以無(wú)限次重復(fù)使用，即一塊壓印模板可以在短時(shí)間內(nèi)壓印制備出多個(gè)衍射元件，大大降低了制備成本，提高了生產(chǎn)效率。基于納米壓印技術(shù)的高精度、高分辨率、低成本、高產(chǎn)量等優(yōu)點(diǎn)，以及改進(jìn)的脫模防粘、對(duì)準(zhǔn)壓印技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了大角度、高深寬比衍射光學(xué)元件高保真、低成本、批量化制作的目的。

　　該工作得到了國(guó)家自然科學(xué)基金的支持。

光電所獲取大角度衍射光學(xué)元件批量化制備新方法