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國家科技重大專項(xiàng)極紫外光刻膠項(xiàng)目通過驗(yàn)收

作者： 2018年06月06日來源：全球化工設(shè)備網(wǎng) 瀏覽量：

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【中國化工儀器網(wǎng)行業(yè)動態(tài)】5月24日，國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(xiàng)(以下簡稱02重大專項(xiàng))實(shí)施管理辦公室組織任務(wù)驗(yàn)收專家組、財(cái)務(wù)驗(yàn)收專家組對02重大專項(xiàng)“極紫外光刻

　　【中國化工儀器網(wǎng) 行業(yè)動態(tài)】5月24日，國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(xiàng)(以下簡稱02重大專項(xiàng))實(shí)施管理辦公室組織任務(wù)驗(yàn)收專家組、財(cái)務(wù)驗(yàn)收專家組對02重大專項(xiàng)“極紫外光刻膠材料與實(shí)驗(yàn)室檢測技術(shù)研究”項(xiàng)目進(jìn)行了任務(wù)驗(yàn)收和財(cái)務(wù)驗(yàn)收。與會專家聽取了項(xiàng)目負(fù)責(zé)人和課題負(fù)責(zé)人對項(xiàng)目和課題完成情況的匯報(bào)、測試組的現(xiàn)場測試報(bào)告、財(cái)務(wù)執(zhí)行情況報(bào)告等，審閱了驗(yàn)收資料。經(jīng)過認(rèn)真討論，與會專家一致同意該項(xiàng)目通過驗(yàn)收。

驗(yàn)收會現(xiàn)場

　　《國家中長期科學(xué)技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020年)》在重點(diǎn)領(lǐng)域中確定一批優(yōu)先主題的同時(shí)，圍繞國家目標(biāo)，進(jìn)一步突出重點(diǎn)，篩選出若干重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關(guān)鍵共性技術(shù)或重大工程作為重大專項(xiàng)，力爭取得突破，努力實(shí)現(xiàn)以科技發(fā)展的局部躍升帶動生產(chǎn)力的跨越發(fā)展。

　　“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”專項(xiàng)(02專項(xiàng))項(xiàng)目“極紫外光刻膠材料與實(shí)驗(yàn)室檢測技術(shù)研究”由中國科學(xué)院化學(xué)研究所、中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所、北京科華微電子材料有限公司聯(lián)合承擔(dān)。經(jīng)過項(xiàng)目組全體成員的努力攻關(guān)，完成了EUV光刻膠關(guān)鍵材料的設(shè)計(jì)、制備和合成工藝研究、配方組成和光刻膠制備、實(shí)驗(yàn)室光刻膠性能的初步評價(jià)裝備的研發(fā)，達(dá)到了任務(wù)書中規(guī)定的材料和裝備的考核指標(biāo)。項(xiàng)目共申請發(fā)明專利15項(xiàng)(包括國際專利5項(xiàng))，截止到目前，共獲得授權(quán)專利10項(xiàng)(包括國際專利授權(quán)3項(xiàng))；培養(yǎng)了博士研究生9名，碩士研究生1名。

　　與會專家對項(xiàng)目取得的研發(fā)成果給予了充分肯定，指出開展極紫外光刻膠的研發(fā)具有戰(zhàn)略眼光，經(jīng)過項(xiàng)目組成員幾年的努力，圓滿地完成了研發(fā)任務(wù)，達(dá)到了項(xiàng)目任務(wù)書中規(guī)定的指標(biāo)；建立了一支在高檔光刻膠領(lǐng)域的研發(fā)隊(duì)伍，為我國的半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供了人才支持。

　　課題承擔(dān)單位中科院理化所和項(xiàng)目負(fù)責(zé)單位中科院化學(xué)所的相關(guān)負(fù)責(zé)人在致辭中對專家組多年來對光刻膠研發(fā)團(tuán)隊(duì)的支持表示衷心的感謝。我國的高檔電子化學(xué)品的研發(fā)正處于高速發(fā)展期，該項(xiàng)目的完成將對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供重要保證，希望對高檔光刻膠的研發(fā)給予持續(xù)的支持；鼓勵研發(fā)團(tuán)隊(duì)繼續(xù)努力，發(fā)揮在特殊材料領(lǐng)域設(shè)計(jì)和制備的優(yōu)勢，為我國半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展做出自己的貢獻(xiàn)。

　　科技部重大專項(xiàng)辦公室、北京市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會、02重大專項(xiàng)辦公室、02重大專項(xiàng)總體組及02重大專項(xiàng)辦公室聘請的任務(wù)驗(yàn)收專家和財(cái)務(wù)驗(yàn)收專家等有關(guān)單位的負(fù)責(zé)人和專家參加了本次驗(yàn)收會。

　　編輯點(diǎn)評

　　當(dāng)下，國家積極推動科技創(chuàng)新，提升國家整體科技水平，建立了一支在高檔光刻膠領(lǐng)域的研發(fā)隊(duì)伍，為我國的半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供了人才支持。同時(shí)，當(dāng)前我國的高檔電子化學(xué)品的研發(fā)正處于高速發(fā)展期，該項(xiàng)目的完成將對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供重要保證。

　　(原標(biāo)題：國家科技重大專項(xiàng)極紫外光刻膠項(xiàng)目通過驗(yàn)收)

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