懸浮石墨烯傳感芯片問世
作者： 2019年09月05日 來源：全球化工設備網 瀏覽量：
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近日，東旭光電與英國曼徹斯特大學的科研人員合作，研發出懸浮石墨烯傳感芯片產品。 據該產品的研究人員介紹，懸浮石墨烯傳感芯片技術為化學氣相沉積法石墨烯薄膜“分布”創造了獨特的解決辦法，使石墨
近日，東旭光電與英國曼徹斯特大學的科研人員合作，研發出懸浮石墨烯傳感芯片產品。
據該產品的研究人員介紹，懸浮石墨烯傳感芯片技術為化學氣相沉積法石墨烯薄膜“分布”創造了獨特的解決辦法，使石墨烯能更好發揮其電學和力學性能。懸浮石墨烯傳感芯片技術在力學、溫度、濕度檢測以及傳感等領域將有廣闊的應用前景。
化學氣相沉積法生產石墨烯是將碳原子沉積在特定基體上的一種生產單層石墨烯方法，但其具有轉移步驟成本高，導電率低的缺點。硅晶圓懸浮石墨烯技術是通過傳統半導體工藝，形成上表面為單層石墨烯薄膜的懸浮腔體陣列，*終形成硅晶圓表面的懸浮石墨烯陣列。
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