中科儀投資10億新建干式真空泵產業(yè)化建設項目
作者： 2022年06月23日 來源： 瀏覽量：
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卑多敏陸小亮攝影報道中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司利用10年時間攻克了生產干式真空泵的“卡脖子”技術，投資10億元，在南通高新區(qū)設立全資子公司中科儀（南通）半導體設備有限責任公司，新建干式真空泵產業(yè)化
卑多敏 陸小亮 攝影報道
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司利用10年時間攻克了生產干式真空泵的“卡脖子”技術，投資10億元，在南通高新區(qū)設立全資子公司中科儀（南通）半導體設備有限責任公司，新建干式真空泵產業(yè)化建設項目，以推動研究成果轉化，改變國內現今還依賴進口的窘境。項目達產后，可年產干式真空泵20040臺套。
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