高性能半導體用球閥
作者： 2024年08月20日 來源： 瀏覽量：
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高性能半導體用球閥產品概述：HGU高性能半導體用球閥是溫州先鋒閥門有限公司最新研制的高真空球閥產品（已申請國家專利），閥體內腔采用弧面全包球設計，保證了體腔無死角，能消除球體和閥體之間的縫隙，減小氣體聚
高性能半導體用球閥產品概述：
HGU高性能半導體用球閥是溫州先鋒閥門有限公司最新研制的高真空球閥產品（已申請國家專利），閥體內腔采用弧面全包球設計，保證了體腔無死角，能消除球體和閥體之間的縫隙，減小氣體聚集，它鉆孔的球形端口可以徹底排空氣體，能最大限度地提高電導性直通、無阻礙的流動。閥體、球閥和端蓋由實心材料加工而成，其全端口尺寸和整體長度最短化使閥門和加熱部件之間的熱傳遞最大化。還可以配置為加熱和隔熱的結構來保證閥門內部的溫度穩定性。
這種閥門在真空管路系統中表現得非常出色，保持清潔的動態密封以防止故障時對系統的污染。HGU球閥是一種極其可靠的高真空閥，可用于在最具挑戰性的環境中。
高性能半導體用球閥使用條件：
額定真空度：1×10-8 Torr，
氦氣泄漏額定值小于1×10-9 std.cc/sec
材料：304、304L、316 L，
閥座材料：PTFE，
使用溫度：-26℃～150℃，
尺寸范圍：DN63～100，
連接方式：GB4892/ISO-KF，GB6070/ISO-F
驅動方式：手動、氣動、電動
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