錫企成功填補國內半導體真空閥門領域空白。近日，無錫經開區企業無錫索奧精密閥門有限公司自主研發的半導體真空鐘擺閥完成技術攻關，已交付國內頭部客戶并進入驗證階段，為半導體產業鏈國產化進程注入新動能。

據介紹，鐘擺閥作為半導體真空閥門中的高端產品，主要應用于半導體芯片制造前端刻蝕與沉積工藝設備?！耙酝@類產品幾乎全部依賴從瑞士、美國進口?！彼鲓W閥門運營副總褚倩透露，這個“隱匿”于設備“心臟”的核心部件，國內此前鮮有企業涉足研發。在索奧閥門展廳，記者見到了這款特殊閥門，產品僅成人兩個拳頭大小，卻直接影響設備加工出的晶圓品質。而晶圓作為芯片核心原材料之一，其質量對芯片性能至關重要。

褚倩解釋，晶圓制造的工序多在刻蝕與沉積工藝設備內部的“工作間”中，過程中，設備會依據不同的工序，往其中充入不同的稀有氣體，這便導致“工作間”內的壓力常常變化。想要高質量的晶圓，壓力穩定的制造環境至關重要。

如何讓“變”成為“不變”？這便需要閥門根據實際情況快速反應、及時調節，達到精準“穩定全場”的效果。若想讓閥門的調節更敏銳、更精準，則需要依靠軟件算法為其打造精細化的控制系統。而算法如何編寫，便是其中最大的難點。

為了盡快解決這個難題，索奧閥門選擇與擁有十余年技術積淀的韓國閥門公司深度合作，將韓方成熟的閥門控制技術與中方團隊快速落地能力高效嫁接。在此基礎上，企業先完成了真空閥門中的蝶閥、插板閥研發并成功推向市場，如今攻克難度更高的鐘擺閥，實現了國產市場“零”的突破。與此同時，索奧閥門也精心搭建了自己的中國研究團隊，引進了5名資深行業專家。如今，企業蝶閥的控壓精度已穩定在誤差不超過0.1%的國際先進水平。目前，這些閥門的生產與研發，都在無錫經開區完成。

值得關注的是，在“產業園”變身“產業鏈”的太湖灣信息園，索奧閥門自去年11月入駐后，通過園區的牽線搭橋，與園內上下游企業建立了密切聯系。在園區舉辦的半導體沙龍活動中，企業結識了同園的做微特電機的無錫奕帆微電子有限公司。“我們的產品正好需要配套電機。”褚倩回憶，雙方經洽談一拍即合。目前奕帆微的產品已通過索奧閥門送樣驗證，未來有望批量應用于系列閥門產品。此外，在園區“撮合”下，索奧還與園內一家下游的沉積設備企業搭上線，雙方正探討深度合作。

“園區幾乎每兩個月就會組織一次產業對接活動。”太湖灣信息園企業服務部相關負責人表示，通過日常走訪掌握企業情況與訴求后，園區會針對性邀請投融資機構、產業鏈上下游企業參與對接。就在6月底，無錫經開區集成電路產業鏈企業家沙龍在太湖灣信息園舉辦，索奧、海浥等十余家集成電路裝備企業，隱秀資本等投資機構及交通銀行無錫分行等金融機構參會。