熱式與差壓式氣體質量流量計對比
作者： 2013年07月18日 來源： 瀏覽量：
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差壓式氣體質量流量控制器/流量計(以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量，這種測量方式具有固有的線性，重復性好，高精度，無需預熱，溫漂小等特點；可以同時測量4種參數
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差壓式氣體質量流量控制器/流量計 (以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量，這種測量方式具有固有的線性，重復性好，高精度，無需預熱，溫漂小等特點；可以同時測量4種參數：氣體的瞬時流量、累計流量、溫度和絕壓，并且可以同時顯示和輸出。雖然傳統的熱式原理不需經過溫壓補償即可以直接測量氣體的質量流量，但是熱式原理產品具有先天性的缺陷：長期加熱的工作模式產生的熱漂移，反應速度慢等缺點是不可避免的。而采用差壓原理的 氣體質量流量控制器/流量計 幾乎無零點和溫度漂移，反應速度快，無需預熱，上電即可操作，解決了長期困擾客戶的問題。目前，一些領先的熱式流量計廠家正在紛紛開發差壓式質量流量計。
ALICAT差壓原理和熱式原理的對照表
| 指 標 | Alicat層流差壓式原理 | 典型熱式原理 |
| 傳感器 | 固態硅基差壓傳感器 | RTD或熱電偶 |
| 流量范圍 | 滿量程從0.5SCCM到1500SLPM | 滿量程從3SCCM到1000SLPM |
| 響應時間 | 10毫秒(控制器100 毫秒) | 0.3-3.0秒 |
| 顯示屏 | 標準，內置 | 可選項，外部裝配 |
| 預熱時間 | ＜1秒 | 8-30分鐘 |
| 累計流量 | 可選項，內置 | 可選項，外部裝配 |
| 過程數據 | 內置顯示屏顯示質量流量、體積流量、在線溫度和在線絕對壓力 | 質量流量 |
| 輸出選項 | 標準內置顯示屏，模擬信號(0-5VDC,0-10VDC,1-5VDC或4-20mA)和標準RS232接口； 可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或絕對壓力 |
標準模擬輸出，可選顯示屏，可選數字輸出 |
| 數字輸出 | 標準輸出包括質量流量、體積流量、在線溫度、在線絕對壓力、測量氣體；可選累計流量；標準Multi-drop RS232接口 | 可選質量流量數字輸出；無Multi-drop選項 |
| 供應電源 | 7-30VDC,35mA的標準AC/DC轉換電源； 可使用一個標準的9V電池包供電 |
特殊供應電源，正和負的穩定15VDC |
| 過程連接 | 標準的NPT或小巧的氣動配件，可選SAE,BSPP等接頭 | 特制Swagelok?、VCR等 |
| 多種氣體測量性 | 可從內置菜單選擇30種標準氣體 | 單一氣體，需指定 |
| 固有線性 | 有 | 無 |
| 文件 | 內置顯示屏顯示型號數、連續號數、制造日期、校驗技術員和軟件版本、型號/連續號，簽條也同樣為標準的 | 產品的貼紙上 |
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