投影光刻機 光刻機 芯片光刻機 元器件光刻機 光刻膠測試的簡單介紹
實驗室光刻機 光柵光刻機 集成電路光刻機 光刻設備 光刻機器投影光刻機 光刻機 芯片光刻機 元器件光刻機 光刻膠測試
投影光刻機 光刻機 芯片光刻機 元器件光刻機 光刻膠測試的詳細信息
HWGK0133X-18紫外線光刻箱,配備電子電源,無級調光,主要用于光刻膠測試,中小規模集成電路、半導體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和小批量生產測試。無紫外線泄露,保護人體不受紫外線傷害的UV光刻箱,自動旋轉托盤,全方位多角度平行光照射,無照射盲區。 設備組成 UV光源+光刻箱+自動轉盤+電源控制器 采用模塊型設計 采用模塊型設計,可手持、固定、箱式使用。 UV燈頭 包含一個長壽命的高壓汞燈,發射出UVA(300-400nm),主光強度分布均勻。燈泡壽命為1000小時。 UV光刻箱 設備包含光刻箱,帶有箱門,開關方便,在元件的光刻過程中,能夠保護用戶免受紫外輻射。 內置遮光型手動快門(工作時無紫外線泄露) 設備集成可伸縮遮光型手動快門,確保光刻的優良重復性,保護用戶開關光刻箱門時免受紫外輻射。 可調速自動旋轉托盤 設備集成可調速自動旋轉托盤,光刻效果更好,更徹底。 無級變光(光強可調) 燈管發光強度可以40%~100%,無級調節燈光強度,特別適合科研和工業生產。 反光內壁 光刻箱內有反光的內壁結構以及優化設計的反光鏡,達到均勻照射效果。 強制風冷系統 光源、電源、光刻箱都集成冷卻風扇,使得系統在散熱良好的環境工作,增加了系統可靠性。 類別 | 項 目 | 參 數 | 尺寸 | 外型尺寸(L×W×H) | 615×415×615mm | 光刻箱內(L×W×H) | 330×345×330mm | 燈管 | 燈管名稱 | 高壓汞燈 | 功率 | 450~1700W 無級調光 | 極限功率密度 | <250mw/cm2 | 波峰值 | 365nm | 曝光面積: | ≥φ150mm | 旋轉托盤 | 功率 | 10W | 低速度 | 1圈/分鐘 | 高速度 | 6圈/分鐘 | 箱內托盤 | 360度旋轉,速度可調 | 電源 | 電源需求 | 220V | 整機功率 | 1800W | 重量 | 光刻箱體 | 29KG | 電源箱 | 4KG | 燈箱 | 5KG | 總重量 | 38KG |
以上是投影光刻機 光刻機 芯片光刻機 元器件光刻機 光刻膠測試的詳細信息,如果您對投影光刻機 光刻機 芯片光刻機 元器件光刻機 光刻膠測試的價格、廠家、型號、圖片有任何疑問,請聯系我們獲取投影光刻機 光刻機 芯片光刻機 元器件光刻機 光刻膠測試的最新信息
|