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詳細(xì)信息

微型真空探針臺(tái) 氣敏光學(xué)電信息測(cè)試的簡(jiǎn)單介紹

微型真空探針臺(tái)是一種用于測(cè)試光學(xué)電信號(hào)的設(shè)備,它具有體積小、重量輕、操作簡(jiǎn)便、可重復(fù)使用等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能等領(lǐng)域

微型真空探針臺(tái) 氣敏光學(xué)電信息測(cè)試的詳細(xì)信息

微型真空探針臺(tái)是一種用于測(cè)試光學(xué)電信號(hào)的設(shè)備,它具有體積小、重量輕、操作簡(jiǎn)便、可重復(fù)使用等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能等領(lǐng)域。本文將詳細(xì)介紹微型真空探針臺(tái)的結(jié)構(gòu)、工作原理、操作方法以及應(yīng)用領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù);

真空腔體

類型

高溫型室溫到400 KT-Z165M4RT

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

腔體內(nèi)尺寸

135mmX57mmX21mm 容積165ML

腔體重量

2KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體進(jìn)氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵5Pa 5分鐘 分子泵≤5E-3Pa30分鐘

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)材質(zhì)

不銹鋼

樣品臺(tái)尺寸

30x30mm

樣品臺(tái)加熱方式

電阻加熱

樣品臺(tái)-視窗 距離

10mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺(tái)溫度

室溫到400

樣品臺(tái)測(cè)溫誤差

±0.2

樣品臺(tái)升溫速率

高溫20/min 最大值 低溫7/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.2

溫度信號(hào)輸入類型

PT100 可選K S B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

5.6KG

探針

電信號(hào)接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 選其一

線長(zhǎng)1.2

電學(xué)性能

絕緣電阻 4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 10pA

探針數(shù)量

4探針(可擴(kuò)展6探針)

探針材質(zhì)

鎢合金探針 (其他材質(zhì)可選

探針尖

50μm (其他規(guī)格可選

手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

15mm ±7.5mm(需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái))

X軸控制精度

500μm

R軸移動(dòng)行程

120° ±60°(需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿)

R軸控制精度

500μm

Z軸移動(dòng)行程

2mm ±1mm

Z軸控制精度

50μm(需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿)

微型真空探針臺(tái)主要由針頭、真空室、控制系統(tǒng)和測(cè)量系統(tǒng)等組成。針頭是探針臺(tái)的核心部件,它由一組金屬針組成,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的精確測(cè)量。真空室是用于放置樣品的容器,它必須能夠保持高真空狀態(tài),以確保測(cè)試的準(zhǔn)確性。控制系統(tǒng)用于控制探針臺(tái)的各項(xiàng)操作,包括針頭的移動(dòng)和樣品的放置等。測(cè)量系統(tǒng)則用于測(cè)試樣品的性能,包括光學(xué)和電學(xué)性能等

以上是微型真空探針臺(tái) 氣敏光學(xué)電信息測(cè)試的詳細(xì)信息,如果您對(duì)微型真空探針臺(tái) 氣敏光學(xué)電信息測(cè)試的價(jià)格、廠家、型號(hào)、圖片有任何疑問(wèn),請(qǐng)聯(lián)系我們獲取微型真空探針臺(tái) 氣敏光學(xué)電信息測(cè)試的最新信息

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