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激光干涉測量技術與儀器項目突破關鍵技術瓶頸

作者： 2019年06月12日來源：全球化工設備網(wǎng) 瀏覽量：

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近日，在國家重大科技專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”等項目支持下，清華大學長聘教授、精密儀器系學術委員會主任李巖研究團隊完成的“高測速多軸高分辨率激光干涉測量技術與儀器”項目，突破一系列關鍵

激光干涉測量指以激光為光源，以激光波長或激光頻率為基準，利用光的干涉原理進行精密測量的方法，具有非接觸測量、靈敏度高和精確度高的優(yōu)點。激光干涉測量儀器一般用于位移、長度、角度、面基、介質折射率的變化等方面的測量，常用的干涉儀有邁克爾遜干涉儀、馬赫-澤德干涉儀、菲索干涉儀、泰曼-格林干涉儀等

　　激光干涉測量是實現(xiàn)超精密測控和微納尺度測量的最有效手段之一，在許多領域都有極其重要的作用。近日，在國家重大科技專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”等項目支持下，清華大學長聘教授、精密儀器系學術委員會主任李巖研究團隊完成的“高測速多軸高分辨率激光干涉測量技術與儀器”項目，突破一系列關鍵技術瓶頸，形成了測量新方法、系統(tǒng)及儀器。

　　據(jù)李主任介紹，項目實現(xiàn)了從干涉儀組件、信號探測解調到多自由度探測方案設計的全鏈條自研開發(fā)的高測速、多軸大量程、高分辨率激光干涉測量系統(tǒng)。目前，該項目團隊所研發(fā)的光刻機用雙頻激光干涉儀系統(tǒng)已經(jīng)應用到了我國自研光刻機工件臺樣機研發(fā)過程中，累計應用50余臺套。該研究成果滿足了光刻機雙工件臺樣機的精密測量需求，減輕了對國外高端干涉儀的依賴，降低了其產(chǎn)品對我國出口限制所造成的研發(fā)風險，對保障我國光刻機雙工件臺研發(fā)的順利實施起到了積極作用。

　　此外，項目開發(fā)的亞納米分辨率可溯源外差干涉儀，也應用到了激光多維測量系統(tǒng)研究與開發(fā)的比對檢定研究中。亞納米分辨率可溯源外差干涉儀能夠找出了激光多維測量系統(tǒng)非線性誤差原因，并用專門的電路加以校正，提高了相關單位激光多維測量系統(tǒng)的性能。開發(fā)團隊所提出的可溯源干涉測量新方法，為摩爾單位采用阿伏伽德羅常數(shù)重新定義作出了貢獻。

　　值得一提的還有，在過去，我國沒有掌握研發(fā)高端激光干涉測量儀器的核心技術，但該項目的成功一舉打破了外國對我國高端激光干涉測量儀器的限制和壟斷，豐富了我國激光干涉測量理論與技術，這意味著往后我國高端裝備和儀器的研發(fā)將擁有性能穩(wěn)定且不受制于外國的測量及溯源能力。總而言之，該研究成果具有非常重要的技術、經(jīng)濟和社會效益。

　　激光干涉測量技術是保障可溯源納米測量的重要途徑，也是推動我國邁向計量強國、制造強國的關鍵計量測試技術。相信隨著研發(fā)團隊的繼續(xù)深入研究，我國的激光干涉測量技術還會不斷進步，為我國帶來更多的效益。

　　資料來源：科技日報

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標簽：激光干涉測量雙頻激光干涉儀光刻機雙工件臺

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